等離子清洗機(jī)之所以能產(chǎn)生上述作用效果，全靠神奇的等離子體在其中起到至關(guān)重要的作用。

　　等離子體和工件表面的化學(xué)反應(yīng)和常規(guī)化學(xué)反應(yīng)有很大不同，由于高速電子的轟擊，很多在常溫下很穩(wěn)定的氣體或蒸汽都可以以等離子體的形式和工件表面反應(yīng)，產(chǎn)生許多奇特的、有用的效果；

　　清洗和刻蝕：例如，在進(jìn)行清洗時(shí)，工作氣體往往用氧氣，它被加速了的電子轟擊成氧離子、自由基后，氧化性強(qiáng)。工件表面的污染物，如油脂、助焊劑、感光膜、脫模劑、沖床油等，很快就會(huì)被氧化成二氧化碳和水，而被真空泵抽走，從而達(dá)到清潔表面，改善浸潤(rùn)性和粘結(jié)性的目的。低溫等離子處理僅涉及材料的表面，不會(huì)對(duì)材料主體的性質(zhì)產(chǎn)生影響。由于等離子體清洗是在高真空下進(jìn)行的，所以等離子體中的各種活性離子的自由程很長(zhǎng)，他們的穿透和滲透力很強(qiáng)，可以進(jìn)行復(fù)雜結(jié)構(gòu)的處理，包括細(xì)管和盲孔。

　　引入官能基團(tuán)：高分子材料用N2、NH3、O2、SO2等氣體的等離子體處理，可以改變表面的化學(xué)組成，引入相應(yīng)新的官能基團(tuán)：-NH2、-OH、-COOH、-SO3H等。這些官能團(tuán)可使聚乙烯，聚丙烯，聚苯乙烯，聚四氟乙烯等這些惰性的基材變成官能團(tuán)材料，可以提高表面極性，浸潤(rùn)性，可粘結(jié)性，反應(yīng)性，極大地提高了其使用價(jià)值。與氧等離子體相反，而經(jīng)含氟氣體的低溫等離子體處理，可在基材表面引入氟原子，使基材具有憎水性。

　　聚合：很多乙烯基單體，如，乙烯、苯乙烯、都可以在等離子體條件下，不要其他任何催化劑和引發(fā)劑而在工件表面實(shí)現(xiàn)，聚合，甚至甲烷，乙烷，苯這些在常規(guī)聚合條件下不能聚合的物質(zhì)，都可以在等離子體條件下在工件表面實(shí)現(xiàn)交聯(lián)聚合。這種聚合層可以達(dá)到非常致密，并且和基材結(jié)合的非常結(jié)實(shí)。在國(guó)外塑料啤酒瓶和汽車油箱就采用等離子體聚合上這樣一層致密層，用以防治微量的泄露。高分子的生物醫(yī)學(xué)材料表面也可以通過(guò)這種致密層阻止塑料中的增塑劑等有毒物質(zhì)向人體組織中擴(kuò)散。光學(xué)元件?？捎玫入x子體聚合方法在表面加上。